[发明专利]用于基底的固位器和用于涂覆基底的方法无效
| 申请号： | 201180062545.X | 申请日： | 2011-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN103270192A | 公开（公告）日： | 2013-08-28 |
| 发明（设计）人： | 斯蒂芬·雷伯;诺伯特·希林格;马丁·阿诺德;戴维·波卡扎 | 申请（专利权）人： | 弗劳恩霍弗应用技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458;H01L21/683;B25J15/06 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 杨黎峰 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于待涂覆的基底的固位器，该固位器包括用于待涂覆的基底的接触面。例如，该固位器被构造成平板，所述基底被置于该平板上，且该平板具有一个或多个开孔，例如钻孔、凹槽等，通过该开孔，可以在所述基底的面和所述固位器的相对面之间形成压力梯度。用这种方式，通过吸力将所述基底暂时固定到所述固位器上是可能的。本发明还涉及一种使用根据本发明的固位器来涂覆基底的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 基底 固位 方法 | ||
【主权项】：
一种用于待涂覆的基底（2）的固位器（1），所述固位器（1）包括用于所述待涂覆的基底（2）的支撑装置（3），所述支撑装置（3）具有用于支撑所述基底（2）的平面结构的前侧以及与所述前侧相对定位的后侧，其特征在于，存在至少一个连续的开孔（4），所述开孔（4）连接所述支撑装置（3）的两侧，通过所述开孔（4）可控制在所述基底（2）的一侧上持续存在的气体压力。
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