[发明专利]丝网印刷装置和丝网印刷方法

摘要

提供一种丝网印刷装置和丝网印刷方法，在其中具有两个成像光轴并且设计用于使基板和掩膜板成像的成像单元水平地移动的构造中，通过适当地校正成像光轴之间的相对位置误差和由成像单元的移动所引起的位置误差，能够提高基板定位精度。在执行目的是探测用于定位基板和掩膜定位的识别标记的标记成像工艺之前，探测成像光轴之间的水平相对位置的光轴校准处理工艺和探测成像光轴的局部位置偏差的表面校正数据准备处理工艺被执行。在开始生产之前，通过使用检验基板和掩膜，用于评估基板定位精度的生产开始前精度评估工艺被执行，在开始生产之后，通过使用实际生产基板和掩膜，用于评估基板定位精度的生产开始后精度评估工艺被执行。

主权项

一种丝网印刷装置，所述丝网印刷装置使基板抵靠其中形成有图案孔的掩膜板从而印刷膏剂，所述丝网印刷装置包括：基板定位单元，所述基板定位单元保持从上游侧运送的基板，并且使基板相对地在水平方向和垂直方向上移动，从而将基板定位在给定位置；丝网印刷单元，所述丝网印刷单元容许刮板在上面供给有膏剂的掩膜板上滑动，从而通过图案孔在基板上印刷膏剂；成像单元，所述成像单元具有成像方向分别为向上和向下的两个成像光轴，并且执行使分别在基板和掩膜板上形成的基板识别标记和掩膜识别标记成像的标记成像操作；成像单元移动机构，所述成像单元移动机构使成像单元关于基板和掩膜板在水平方向上移动；识别处理单元，所述识别处理单元使标记成像操作中的成像结果受到识别处理，从而进行用于检测基板识别标记和掩膜识别标记的位置的标记识别处理；光轴校准处理单元，所述光轴校准处理单元通过成像单元使与相对位置相关联的两个参考标记单独地成像，检测分别为两个成像光轴的成像表面的掩膜下表面和基板上表面上的成像光轴的相对位置，并且输出所检测出的相对位置，作为光轴间相对位置数据；表面校正数据创建处理单元，所述表面校正数据处理单元取得通过成像单元移动机构的成像单元的移动所引起的、在成像表面上产生的成像光轴在水平方向上的位置误差，作为对于基板保持在其上的基板区域和掩膜板安装在其上的掩膜区域以规则排列设置的各参考点特有的在水平方向上的位置误差，并且该输出所取得的位置误差，作为表示在基板区域和掩膜区域的每一表面中局部位置偏差状态的表面校正数据。