[发明专利]具有单质量块的微机械三轴加速计有效
| 申请号： | 201180054796.3 | 申请日： | 2011-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN103238075A | 公开（公告）日： | 2013-08-07 |
| 发明（设计）人： | C·阿卡 | 申请（专利权）人： | 快捷半导体公司 |
| 主分类号： | G01P15/18 | 分类号： | G01P15/18;G01P15/14;G01C19/5755 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人： | 武晨燕;张颖玲 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 除其它情况之外，本申请讨论了一种惯性测量系统，包括器件层、帽晶片和孔晶片，其中，所述器件层包括单质量块三轴加速计，所述帽晶片粘合到所述器件层的第一表面，所述孔晶片粘合到所述器件层的第二表面，其中，所述帽晶片和所述孔晶片被配置为封装所述单质量块三轴加速计。所述单质量块三轴加速计可围绕单个中心锚悬吊，且包括单独的x轴挠曲支承部、y轴挠曲支承部和z轴挠曲支承部，其中，所述x轴挠曲支承部和所述y轴挠曲支承部关于所述单个中心锚对称，且所述z轴挠曲支承部关于所述单个中心锚不对称。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 单质 量块 微机 械三轴 加速 | ||
【主权项】：
一种惯性测量系统，包括：器件层，包含形成在x‑y平面中的单质量块三轴加速计，所述单质量块三轴加速计围绕单个中心锚悬吊，所述单质量块三轴加速计包括单独的x轴挠曲支承部、y轴挠曲支承部和z轴挠曲支承部；其中，所述x轴挠曲支承部和所述y轴挠曲支承部关于所述单个中心锚对称，所述z轴挠曲部关于所述单个中心锚不对称；帽晶片，粘合到所述器件层的第一表面；以及孔晶片，粘合到所述器件层的第二表面，其中，所述帽晶片和所述孔晶片被配置为封装所述单质量块三轴加速计。
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