[发明专利]分束器和动镜的干涉仪速度控制

摘要

在此介绍了一种对干涉仪提供速度控制的新颖装置，其中移动部件之一包括分束器元件。使用一个移动分束器和联接的挠曲安装允许改进速度控制，因为该分束器的低质量能实现在此披露的系统比常规镜子速度受控的干涉仪仪器响应更快并具有更低的合速度误差，以便从这个分析仪器中提供更稳定和更低噪音的光谱。对该分束器的、并且当希望时对所配置的镜子中的一个或两个的速度的控制减少了在每次扫描的端点处改变速度所浪费的时间。结果是在任何给定的实验时间帧内可获得的数据收集增加。因此，本发明的此类所希望的安排允许在更高的速率下收集扫描，这有利地增加了对迅速变化的系统进行监测的能力。

主权项

一种动态速度受控的干涉仪，该干涉仪包括：一个第一平面反射器，该第一平面反射器被配置成沿一个第一光程长度对应地接收并返回一个光源的一个第一分束；一个第二平面反射器，该第二平面反射器被配置成沿着一个第二光程长度对应地接收并返回所述光源的一个第二分束；一个移动分束器，该移动分束器用于接收来自所述光源的一束辐射以便提供所述第一和所述第二分束；其中所述移动分束器被进一步适配成在朝向和远离所述配置的第一和第二平面反射器但与这些反射器成一个预定角度的方向上线性地移动；移动装置，该移动装置被联接到所述移动分束器上以便对所述移动分束器提供线性和倾斜控制；以及控制装置，该控制装置用于对所述移动装置提供一个受控反馈以便用一个所希望的稳定速度对所述移动分束器的位置提供调整，其中所述移动分束器的所述经调整的位置进一步能够实现所述第一光程长度与所述第二光程长度之间的光程长度差，这些光程长度差组合起来在所述干涉仪的一个配置的出口处提供了该输入源光束辐射的一个询问干涉图。