[发明专利]用于纳米定位的平行保持装置有效
申请号: | 201180050158.4 | 申请日: | 2011-10-21 |
公开(公告)号: | CN103167930A | 公开(公告)日: | 2013-06-19 |
发明(设计)人: | K·德赫斯;A·里斯泰亚 | 申请(专利权)人: | 统雷有限公司 |
主分类号: | B23Q3/18 | 分类号: | B23Q3/18;B23Q3/00;B23Q3/02;H01L21/68 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 冯剑明 |
地址: | 美国新*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 一用于保持平行的机械装置,包括第一、第二、第三和第四杆。第一杆的第一侧面和第二杆的第一侧面由第一弯曲部桥接,在第一杆的底面和第二杆的上面之间留有一间隙;第二杆的第二侧面和第三杆的第二侧面由第二弯曲部桥接,在第二杆的底面和第三杆的上面之间留有一间隙;且第三杆的第一侧面和第四杆的第一侧面由第三弯曲部桥接,在第三杆的底面和第四杆的上面之间留有一间隙。 | ||
搜索关键词: | 用于 纳米 定位 平行 保持 装置 | ||
【主权项】:
一用于保持平行的机械装置,包括:一第一杆,一第二杆,一第三杆和一第四杆,每一杆都具有一上面,一底面,一第一侧面和一第二侧面,第一杆的上面形成本装置的上面且第四杆的底面形成本装置的底面;其中第一杆的第一侧面和第二杆的第一侧面由第一弯曲部桥接,在第一杆的底面和第二杆的上面之间留有一间隙;第二杆的第二侧面和第三杆的第二侧面由第二弯曲部桥接,在第二杆的底面和第三杆的上面之间留有一间隙;且第三杆的第一侧面和第四杆的第一侧面由第三弯曲部桥接,在第三杆的底面和第四杆的上面之间留有一间隙。
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