[发明专利]用于臭氧硬化及硬化后的湿气处理的模块

摘要

本发明揭示一种基材处理系统，所述基材处理系统具有多个沉积室及第一机械臂，所述第一机械臂可操作以在所述沉积室中的一个与装载闸基材固持区之间移动基材。系统亦可具有第二机械臂，所述第二机械臂可操作以在所述装载闸基材固持区与基材硬化及处理模块的硬化室之间移动基材。所述基材硬化及处理模块附接至所述装载闸基材固持区，且所述基材硬化及处理模块可包括:硬化室及处理室，所述硬化室用于在包含臭氧的氛围中硬化介电层，所述处理室用于在包含水蒸汽的氛围中处理所述经硬化的介电层。所述硬化室可相对于所述处理室垂直地配置。所述模块亦可包括加热系统，所述加热系统可操作地耦接至所述硬化室及所述处理室，其中所述加热系统可操作以将所述硬化室的第一温度调整至大约150°C至大约200°C，且将所述处理室的第二温度调整至大约80°C至大约100°C。模块可更进一步包括在硬化室及处理室两者上的进出门。所述进出门中的每一个可操作以移动至打开位置以接收基材，且当基材正在硬化或处理期间，所述进出门中的每一个可操作以移动至封闭密封的位置。

主权项

一种基材硬化及处理模块，所述模块包含:硬化室及处理室，所述硬化室用于在包含臭氧的氛围中硬化介电层，且所述处理室用于在包含水蒸汽的氛围中处理所述经硬化的介电层，其中所述硬化室相对于所述处理室垂直地配置;加热系统，所述加热系统可操作地耦接至所述硬化室及所述处理室，其中所述加热系统可操作以将所述硬化室的第一温度调整至大约150°C至大约200°C，且所述加热系统可操作以将所述处理室的第二温度调整至大约80°C至大约100°C;以及位于所述硬化室及所述处理室两者上的进出门，其中所述进出门中的每一个可操作以移动至打开位置以接收基材，且当所述基材正在硬化或处理时，所述进出门中的每一个可操作以移动至封闭密封的位置。