[发明专利]扫描投影无透镜显微镜系统无效
| 申请号: | 201180048639.1 | 申请日: | 2011-10-25 |
| 公开(公告)号: | CN103154662A | 公开(公告)日: | 2013-06-12 |
| 发明(设计)人: | 郑国安;塞缪尔·杨;李承亚;杨昌辉 | 申请(专利权)人: | 加州理工学院 |
| 主分类号: | G01B9/04 | 分类号: | G01B9/04;G02B21/00;G01N21/00 |
| 代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人: | 周靖;郑霞 |
| 地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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| 摘要: | 扫描投影无透镜显微镜设备包括试样表面、具有光元件的扫描照明源、在试样表面外部的光探测器、和处理器。扫描照明源将光元件扫描到多个扫描位置以对试样表面上的物体提供照明。光探测器对相应于多个扫描位置的一系列亚像素移动投影物体图像采样。处理器基于该系列亚像素移动投影图像和在所关注的平面处的投影的运动矢量来构建物体的高分辨率图像。 | ||
| 搜索关键词: | 扫描 投影 透镜 显微镜 系统 | ||
【主权项】:
一种扫描投影无透镜显微镜设备,包括:试样表面;包括光元件的扫描照明源,所述扫描照明源配置成将所述光元件扫描到多个扫描位置以向所述试样表面上的试样提供照明;在所述试样表面外部的光探测器,所述光探测器配置成对相应于所述多个扫描位置的一系列亚像素移动投影图像采样;以及处理器,其配置成基于所述一系列亚像素移动投影图像和运动矢量来构建所述试样的高分辨率图像。
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