[发明专利]光致发光测量工具和相关方法有效
| 申请号： | 201180043029.2 | 申请日： | 2011-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN103080731A | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 阿诺德·阿莱林克;道格拉斯·贝肯;边雅敏·布鲁尔;约翰·克里斯特安森;艾瑞尔·米尔斯坦恩;艾威尼尔·瑞杰夫;伊格尔·桑金 | 申请（专利权）人： | 第一太阳能有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/64 | 分类号： | G01N21/64;G01N21/88;G01N21/89;G01N21/95;H01L21/66;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 韩明星;王占杰 |
| 地址： | 美国俄亥俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于探测半导体材料的电子结构的光致发光测量工具以及相关方法和测量系统。所述工具或系统可以集成到光伏模块制造工艺中。 | ||
| 搜索关键词： | 光致发光 测量 工具 相关 方法 | ||
【主权项】：
一种光致发光测量工具，包括：第一光源，用于产生第一光辐射以照射基板的第一半导体材料，其中，第一半导体材料被第一光辐射激发并且发射第一发光辐射；以及第一传感器，其中，第一发光辐射从基板的第一半导体材料辐射到第一传感器。
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