[发明专利]移动体装置、物体处理装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、及元件制造方法有效
| 申请号： | 201180042791.9 | 申请日： | 2011-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN103119518A | 公开（公告）日： | 2013-05-22 |
| 发明（设计）人： | 青木保夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;F16C29/02;H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 任默闻 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 于基板载台装置(PST)中，搭载于Y步进定盘(50)上的基板支承构件(60)保持基板(P)。基板支承构件(60)于Y步进定盘(50)上以长行程移动于扫描方向。基板(P)与曝光区域(IA)对应的部位被定点载台(80)从下方以非接触方式吸附保持，其他部位被配置于Y步进定盘(50)上的多台空气悬浮装置(70)悬浮支承。基板(P)与曝光区域(IA)对应的部位，通过定点载台(80)被控制成基板(P)的面位置位于投影光学系统的焦深内。 | ||
| 搜索关键词： | 移动 装置 物体 处理 曝光 平板 显示器 制造 方法 元件 | ||
【主权项】：
一种移动体装置，其特征在于，包含：第1移动体，可保持沿与水平面平行的既定二维平面配置的物体的端部，并且于至少所述二维平面内的第1方向以既定行程移动；以及第2移动体，包含在所述第1移动体于所述第1方向的可移动范围内从下方支承所述物体的物体支承构件，并且能与所述第1移动体一起移动于在所述二维平面内与所述第1方向正交的第2方向。
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