[发明专利]使用包含低质量种类和高质量种类二者的离子源的导航和样本处理有效
| 申请号： | 201180041584.1 | 申请日： | 2011-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN103081054A | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | C.吕埃 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/08 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 殷瑞剑;李浩 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于使用FIB系统对衬底进行成像和铣削的改进方法和设备。本发明的优选实施例使用由相同射束光学器件聚焦于相同焦点的轻和重离子的混合物，来在轻离子穿透至样本中更深处以允许生成表面下特征的图像时同时铣削样本表面（主要利用重离子）。在其他使用当中，本发明的优选实施例提供了可用于诸如背面电路编辑之类的各种电路编辑应用的导航和样本处理的改进方法。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 包含 质量 种类 二者 离子源 导航 样本 处理 | ||
【主权项】：
一种用于对样本上的所关注的特征进行高精度射束布置和导航的设备，包括：离子的源，所述源产生多于一个元素种类的离子；以及粒子束镜筒，用于产生包括多于一个元素种类的离子的同轴混合离子射束，以及用于将该混合射束聚焦于所述样本处或所述样本附近的焦点。
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