[发明专利]生产三氯硅烷的方法和用于生产三氯硅烷的硅在审

专利信息
申请号: 201180038519.3 申请日: 2011-07-06
公开(公告)号: CN103080007A 公开(公告)日: 2013-05-01
发明(设计)人: J-O.霍埃尔;H.谢恩利;H.M.龙格;T.罗;J.比约达尔 申请(专利权)人: 埃尔凯姆有限公司
主分类号: C01B33/107 分类号: C01B33/107
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 段菊兰;李炳爱
地址: 挪威*** 国省代码: 挪威;NO
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摘要: 发明涉及通过硅与HCl气体在250℃和1100℃之间的温度和0.5-30atm的绝对压力下在流化床反应器、搅拌床反应器或固体床反应器中的反应生产三氯硅烷的方法,其中供应到所述反应器中的硅含有按重量计40-10.000ppm的钡和任选的按重量计40-10000ppm的铜。本发明还涉及用于通过硅与HCl气体的反应生产三氯硅烷的硅,其含有40-10.000ppm的钡和任选的按重量计40-10000ppm的铜,除了正常杂质外余量是硅。
搜索关键词: 生产 硅烷 方法 用于
【主权项】:
通过使硅与HCl气体在250 ℃和1100 ℃之间的温度和0.5‑30 atm的绝对压力下在流化床反应器、搅拌床反应器或固体床反应器中的反应生产三氯硅烷的方法,其特征在于供应到所述反应器中的硅含有按重量计40‑10000 ppm的钡和任选的按重量计40‑10000 ppm的铜。
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