[发明专利]温度调整光谱仪有效
| 申请号： | 201180035739.0 | 申请日： | 2011-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN103026191A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 马库斯·E·贝克;余明伦 | 申请（专利权）人： | 第一太阳能有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/02 | 分类号： | G01J3/02;G01J3/28;G01J3/44;G01N21/65 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 刘灿强;张川绪 |
| 地址： | 美国俄亥俄*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 温度调整光谱仪包括光源、温度传感器和光谱分析器。光源被够造成朝着处理室内的基板位置将光沿着光路引导通过第一透镜；光谱分析器被够造成接收从处理室中的基板位置处的基板上的样品区域中的材料样品处散射的光；温度测量装置被构造成测量位于处理室中的基板位置处的基板上的材料样品的温度。另外，由校准模块通过测量的温度来校正光谱以提供温度经调整的光谱。 | ||
| 搜索关键词： | 温度 调整 光谱仪 | ||
【主权项】：
一种温度调整光谱仪，所述温度调整光谱仪包括：光源，用于产生光以照射基板的样品区域，其中，光从样品区域反射，反射光包括散射辐射；光谱分析器，用于分析散射辐射以得到基板的样品区域的光谱；温度传感器；以及第一透镜，光学地连接到温度传感器，其中，热辐射从基板的样品区域通过透镜辐射到温度传感器，温度传感器测量基板的样品区域的温度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于第一太阳能有限公司，未经第一太阳能有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201180035739.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
