[发明专利]含水碱性清洁组合物及其应用方法有效
| 申请号： | 201180035135.6 | 申请日： | 2011-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN103003405A | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | R·梅利斯;A·克里普 | 申请（专利权）人： | 巴斯夫欧洲公司 |
| 主分类号： | C11D3/34 | 分类号： | C11D3/34;C11D7/32;C11D7/34;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 林柏楠;刘金辉 |
| 地址： | 德国路*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及含水碱性清洁组合物，其不含有机溶剂和不含无金属离子的硅酸盐，所述组合物含有：（A）具有至少一个伯氨基和至少一个巯基的硫代氨基酸；（B）季铵氢氧化物；（C）选自以下的螯合剂和/或腐蚀抑制剂：具有至少两个伯氨基的脂族和脂环族的胺，和具有至少一个羟基的脂族和脂环族的胺；（D）选自以下的非离子性表面活性剂：炔属醇，烷氧基化炔属醇，以及烷氧基化的脱水山梨醇单羧酸单酯；涉及所述碱性清洁组合物用于加工基材的用途，所述基材可用于制造电子设备和光学设备；还涉及用于加工基材的方法，所述基材可用于制造电子设备和光学设备，其中在所述方法中使用所述含水碱性清洁组合物。 | ||
| 搜索关键词： | 含水 碱性 清洁 组合 及其 应用 方法 | ||
【主权项】：
含水碱性清洁组合物，其不含有机溶剂和不含无金属离子的硅酸盐，所述组合物含有：（A）至少一种具有至少一个伯氨基和至少一个巯基的硫代氨基酸，（B）至少一种季铵氢氧化物，（C）至少一种选自以下的螯合剂和/或腐蚀抑制剂：具有至少两个伯氨基的脂族和脂环族的胺，和具有至少一个羟基的脂族和脂环族的胺，（D）至少一种选自以下的非离子性表面活性剂：炔属醇，烷氧基化炔属醇，以及烷氧基化的脱水山梨醇单羧酸单酯。
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