[发明专利]使用分子氟的原位激活的沉积腔室清洁无效
| 申请号： | 201180031431.9 | 申请日： | 2011-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN103037989A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | J-C·西高;黄应享;P·A·斯托克曼;S·彼得里 | 申请（专利权）人： | 琳德股份公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 朱黎明 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及使用分子氟作为清洁物质清洁反应腔室的方法和设备。使用腔室射频电源使得所述分子氟在反应腔室中原位解离。一种示例性的清洁化学气相沉积腔室的方法可包括：将分子氟引入所述腔室中；在所述腔室中至少部分原位解离所述分子氟，以形成氟自由基；使所述氟自由基和分子氟与所述腔室中不希望有的沉积物反应；以及抽出所述腔室中的气体。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 分子 原位 激活 沉积 清洁 | ||
【主权项】：
一种清洁化学气相沉积腔室的方法，该方法包括：将分子氟引入所述腔室中；在所述腔室中至少部分地原位解离所述分子氟，以形成氟自由基；使所述氟自由基和分子氟与所述腔室中不希望有的沉积物反应；以及排除所述腔室中的气体。
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