[发明专利]使用吸附固浸透镜的吸附器的半导体器件的观察方法

摘要

本发明的吸附器（10）包含：主体部，其具有配置形成有半导体器件（D）的半导体晶圆（W）的第1面（13）、及与第1面（13）为相反侧的面的第2面（14），且形成有贯通第1面（13）与第2面（14）的贯通孔（15）；以及透光部，其具有供来自半导体器件（D）的光入射的光入射面（16）、及供自光入射面（16）入射的光出射的光出射面（17），且嵌合于贯通孔（15）。而且，在第1面（13）上形成有用于将半导体晶圆（W）真空吸附而将半导体器件（D）固定于光入射面（16）的第1吸附槽（13a），在第2面（14）上形成有用于将固浸透镜（S）真空吸附而固定于光出射面（17）的第2吸附槽（14a）。

主权项

一种吸附器，其特征在于：是用于使用固浸透镜进行半导体器件的观察的半导体器件观察装置的吸附器，具备：主体部，其具有配置形成有所述半导体器件的半导体晶圆的第1面、及作为与所述第1面为相反侧的面的第2面，且形成有贯通所述第1面与所述第2面的贯通孔；及透光部，其具有供来自所述半导体器件的光入射的光入射面、及供自所述光入射面入射的光出射的光出射面，所述透光部以所述光入射面露出于所述第1面侧、且所述光出射面露出于所述第2面侧的方式嵌合于所述贯通孔，在所述第1面上形成有第1吸附槽，其用于将所述半导体晶圆真空吸附而将所述半导体器件固定于所述光入射面，在所述第2面上形成有第2吸附槽，其用于将所述固浸透镜真空吸附而固定于所述光出射面。