[发明专利]感光性树脂组合物、感光性树脂组合物膜和使用它们的半导体器件有效
| 申请号： | 201180031004.0 | 申请日： | 2011-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN102985877A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 仁王宏之 | 申请（专利权）人： | 东丽株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/023 | 分类号： | G03F7/023;C09J7/02;C09J11/06;C09J179/08;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 杨宏军;王大方 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
本发明提供固化后的应力小、热压接后的粘合性优异的感光性树脂组合物和感光性树脂组合物膜。所述感光性树脂组合物的特征在于，含有以下成分：(a)碱溶性聚酰亚胺，具有下述通式(1)所示的结构单元，且在主链的至少一个末端具有通式(2)和/或(3)所示的结构；(b)分子内具有2个以上的环氧基和/或氧杂环丁烷基的化合物；(c)醌二叠氮化合物，其中丙烯酸树脂的含量相对于100重量份的聚酰亚胺(a)小于10重量份，化合物(b)的含量相对于100重量份的聚酰亚胺(a)为20重量份以上。 |
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| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 使用 它们 半导体器件 | ||
【主权项】：
1.一种感光性树脂组合物，其特征在于，含有以下成分：(a)碱溶性聚酰亚胺，具有下述通式(1)所示的结构单元，且在主链的至少一个末端具有通式(2)和/或(3)所示的结构；(b)分子内具有2个以上的环氧基和/或氧杂环丁烷基的化合物；(c)醌二叠氮化合物，其中化合物(b)的含量相对于100重量份的聚酰亚胺(a)为20重量份以上，![]()
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