[发明专利]结构的光学计量的材料光学特性的确定无效
| 申请号： | 201180022825.8 | 申请日： | 2011-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN103003681A | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | J·M·马德森;杨卫东 | 申请（专利权）人： | 克拉-坦科股份有限公司;东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 南毅宁;陈潇潇 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 描述了确定结构的光学计量的材料光学特性的方法。一种方法包括基于两个或更多个方位角和基于一个或多个入射角来模拟光栅结构的衍射级的集合。然后基于衍射级的集合提供模拟的光谱。另一种方法包括基于两个或更多个入射角来模拟光栅结构的衍射级的集合。然后基于衍射级的集合提供模拟的光谱。 | ||
| 搜索关键词： | 结构 光学 计量 材料 特性 确定 | ||
【主权项】：
一种用于确定一结构的光学计量的材料光学特性的方法，该方法包括：基于两个或更多个方位角和基于一个或多个入射角来模拟光栅结构的衍射级的集合；以及基于所述衍射级的集合提供模拟的光谱。
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