[发明专利]提高扫描束离子注入机的产量有效
| 申请号： | 201180022448.8 | 申请日： | 2011-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN102884607A | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 爱德华·艾伊斯勒;伯·范德伯格 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯科技公司 |
| 主分类号： | H01J37/147 | 分类号： | H01J37/147;H01J37/317;H01J37/302 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王静 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开了用于提供更大产量的离子注入方法和系统。当离子束(112)的横截面完全撞击在工件的表面上时，离子束(112)被以第一扫描速率(VslowScan)跨过工件的表面进行扫描；在束的横截面面积的一部分延伸到工件的外边缘(140)以外的位置(214)处，所述第一扫描速率被增大到第二速率(VFastScan)。一些实施例使用下述扫描模式：其中在实际注入期间在工件外进行束通量测量，以及可以实时地改变注入例行程序以计入束通量的变化。 | ||
| 搜索关键词： | 提高 扫描 离子 注入 产量 | ||
【主权项】：
一种用于在工件上执行离子注入的方法，其中工件具有在外边缘处终止的表面，该方法包括：当离子束的横截面完全撞击在工件的所述表面上时以第一扫描速率跨过工件的所述表面扫描离子束；及当束的横截面的一部分延伸到工件的外边缘以外时将第一扫描速率增大到第二速率，其中所述部分小于离子束的整个横截面积。
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