[发明专利]脉冲气体传送的控制和方法

摘要

摩尔传送系统和方法提供作为每一脉冲持续时间函数的已知摩尔数量的脉冲，该每一脉冲依次作为理想气体定律的函数来传送。在系统的一个实施例中，所述系统包括：具有已知容积并受控和已知的温度的腔室；用于测量腔室中的压力的压力传感器；用于处理工具的排气阀；用于采用传送气体充载腔室的进气阀；以及控制系统，该控制系统配置和布置成控制排气阀的操作，通过控制用于处理工具的阀的计时来控制每一气体脉冲的数量。

主权项

一种脉冲气体传送系统，配置成传送精确且可重复剂量范围的气体，所述脉冲气体传送系统包括：具有已知容积的腔室，所述腔室构造并布置成分别在将每一剂量气体从所述腔室传送之前和之后将所述腔室内的所述气体维持于均匀温度和压力范围内的稳定压力；进气阀，构造和布置成打开以便将气体引入到所述腔室中；排气阀，构造和布置成在受控的时间间隔期间打开和关闭，以便在所述时间间隔期间传送所要求剂量的气体脉冲；以及控制器，所述控制器用于控制所述阀的所述时间间隔，所述时间间隔仅作为所期望的气体剂量水平以及分别在每一脉冲传送之前和之后的所述腔室中的所述气体的初始稳定压力和最终稳定压力的函数。