[发明专利]氧化物蒸镀材料、蒸镀薄膜以及太阳能电池有效
| 申请号： | 201180007032.9 | 申请日： | 2011-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN102712995A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 阿部能之;和气理一郎;桑原正和;曽我部健太郎;大城梓;矢田久贵 | 申请（专利权）人： | 住友金属矿山株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C04B35/00;C23C14/08;H01B5/14;H01L21/28;H01L21/285;H01L31/04 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 崔香丹;张永康 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的是提供一种蒸镀用氧化物片（氧化物蒸镀材料）、使用该蒸镀用氧化物片制造的蒸镀薄膜以及太阳能电池。上述片由烧结体构成，所述烧结体以氧化铟为主要成分且含铈，并且没有进行烧结后的表面研磨加工，其特征在于，在将从烧结体表面到5μm的深度为止的表面层中的铈含量设为Ce/In原子数比（CompS）、烧结体整体中的铈含量的平均值设为Ce/In原子数比（CompA）时，CompS/CompA=0.9～1.1。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化物 材料 薄膜 以及 太阳能电池 | ||
【主权项】：
一种氧化物蒸镀材料，其由烧结体构成，所述烧结体以氧化铟为主要成分且含铈，并且没有进行烧结后的表面研磨加工，其特征在于，在将从烧结体表面到5μm的深度为止的表面层中的铈含量设为Ce/In原子数比CompS、将烧结体整体中的铈含量的平均值设为Ce/In原子数比CompA时，CompS/CompA=0.9～1.1。
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