[发明专利]形状测定方法及装置无效
| 申请号： | 201180003359.9 | 申请日： | 2011-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN102713508A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 滨野诚司;日下雄介;菅田文雄 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B9/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘文海 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 在向被测定物(105)入射的光和向参照反射镜(107)的光的光轴上，分别配置透镜组(202、203、204)，该透镜组(202、203、204)使用准直透镜的焦点距离及/或阿贝数，对消色差条件、光束直径条件、减色差条件进行最佳化，通过使用该透镜组(202、203、204)对波面进行修正，能够减少波面像差的影响，在基于光干涉的形状测定中能提高析像度。 | ||
| 搜索关键词： | 形状 测定 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种形状测定方法，其中，将来自光源的光分割成参照光和信号光，通过配置在使所述信号光向被测定物入射的光轴上的第一波面修正光学系统来修正所述信号光的波面，之后，使所述信号光向所述被测定物入射，通过配置在使所述参照光向参照反射镜入射的光轴上的第二波面修正光学系统来修正所述参照光的波面，之后，使所述参照光向所述参照反射镜入射，检测所述参照光向所述参照反射镜入射而反射出的光与所述信号光向所述被测定物入射而反射出的光相干涉的干涉光，来测定所述被测定物的形状。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于松下电器产业株式会社，未经松下电器产业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201180003359.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
