[实用新型]铸锭炉有效
申请号: | 201120555982.2 | 申请日: | 2011-12-27 |
公开(公告)号: | CN202415746U | 公开(公告)日: | 2012-09-05 |
发明(设计)人: | 田义良;徐养毅;孙银刚;周勇 | 申请(专利权)人: | 江苏协鑫软控设备科技发展有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 何平 |
地址: | 221004 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及用于晶体硅生产的一种铸锭炉,包括:设有炉室的炉体;及安装在所述炉室中的隔热笼,所述隔热笼上设有连通隔热笼内外空间的弯曲气道。本实施方式的铸锭炉的隔热笼上排放气体的气道呈弯曲状,能够实现排放气体及减少热量损失的目的,同时又改善了在高温加热熔化阶段密封环境下气流复杂的混乱状态,大量减少了CO和SiO等气体进入硅液中的几率,从而能降低氧碳等杂质含量,提高硅片质量。 | ||
搜索关键词: | 铸锭 | ||
【主权项】:
一种铸锭炉,其特征在于,包括:设有炉室的炉体;安装在所述炉室中的隔热笼,所述隔热笼上设有连通隔热笼内外空间的弯曲气道。
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