[实用新型]晶体硅太阳能电池PECVD工艺仓室用盖板有效
| 申请号： | 201120553937.3 | 申请日： | 2011-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN202394833U | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 王利 | 申请（专利权）人： | 上海莹利光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 马家骏 |
| 地址： | 201502 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶体硅太阳能电池PECVD工艺仓室用盖板，包括盖板本体和设置在盖板本体内侧面的加热板组件，加热板组件通过连接件与盖板本体连接，在盖板本体和加热板组件下部之间设置有耐高温金属薄板，该耐高温金属薄板与加热组件和盖板之间均是采用可拆卸连接。耐高温金属薄板既不会影响加热组件的更换也不会损坏到盖板本体的完整性。确保耐高温金属薄板与盖板和加热组件间的空隙尽量小，这样氮化硅颗粒就不会掉落到密封圈上，只需要在关盖前将耐高温金属薄板清理干净即可。本实用新型结构简单，清理方便。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体 太阳能电池 pecvd 工艺 仓室用 盖板 | ||
【主权项】：
晶体硅太阳能电池PECVD工艺仓室用盖板，包括盖板本体和设置在盖板本体内侧面的加热板组件，加热板组件通过连接件与盖板本体连接，其特征在于，在盖板本体和加热板组件下部之间设置有耐高温金属薄板，该耐高温金属薄板与加热组件和盖板之间均是采用可拆卸连接。
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