[实用新型]硅料浸泡机有效
申请号: | 201120531719.X | 申请日: | 2011-12-19 |
公开(公告)号: | CN202400851U | 公开(公告)日: | 2012-08-29 |
发明(设计)人: | 余伟;何勤忠;陈宏;朱泓 | 申请(专利权)人: | 江苏宏宝光电科技有限公司 |
主分类号: | C01B33/021 | 分类号: | C01B33/021 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 柏尚春 |
地址: | 215618 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开一种硅料浸泡机,包括机架、酸液循环及回收系统、浸泡槽和排风装置;所述浸泡槽固定在机架上;所述浸泡槽上端设有槽盖;所述槽盖与浸泡槽水密封连接;所述浸泡槽的侧壁上端安装有排风装置;所述浸泡槽内部设有加热装置;所述酸液循环及回收系统通过管道与浸泡槽底部连接。酸液循环及回收系统可避免酸雾泄漏,确保工作环境符合ISO14001,OHSMS18001的要求;加热装置可满足硅料清洗工艺中反应温度的要求,采用恒温加热方式避免受自然温度的影响;酸液合理循环回收可降低加工成本。 | ||
搜索关键词: | 浸泡 | ||
【主权项】:
一种硅料浸泡机,其特征在于:包括机架(1)、酸液循环及回收系统(2)、浸泡槽(3)和排风装置(4);所述浸泡槽(3)固定在机架(1)上;所述浸泡槽(3)上端设有槽盖(5);所述槽盖(5)与浸泡槽(3)水密封连接;所述浸泡槽(3)的侧壁上端安装有排风装置(4);所述浸泡槽(3)内部设有加热装置;所述酸液循环及回收系统(2)通过管道与浸泡槽(3)底部连接。
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