[实用新型]一种混生气体生成设备有效
| 申请号： | 201120526915.8 | 申请日： | 2011-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN202387382U | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 魏强 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B01F3/02 | 分类号： | B01F3/02;B01F15/04;G05D11/02 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 吴世华;冯志云 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种混生气体生成设备，包括：第一通道，其用于输入第一气体源；第二通道，其用于输入第二气体源；所述第一通道与第二通道作为输入通道均与作为输出通道的第三通道相连接，所述第一气体源与第二气体源通过所述第三通道混合为第三气体后输出；其特征在于，所述第一通道上设置有第一限装置，所述第一限流装置可以被调整为与所述第一通道内所需要流过的第一气体源的压力相适应；所述第二通道上设置有第二限流装置，所述第二限流装置可以被调整为与所述第二通道内所需要流过的第二气体源的压力相适应。本实用新型使得气体输出通道的压力可根据手套箱或其他输出端所需要的压力而设置。与现有设备相比较，可实现同样效果且成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 生气 生成 设备 | ||
【主权项】：
一种混生气体生成设备，其用于控制至少第一气体源与第二气体源进行混合，其特征在于，至少包括：第一通道，其用于输入第一气体源；第二通道，其用于输入第二气体源；所述第一通道与第二通道作为输入通道均与作为输出通道的第三通道相连接，所述第一气体源与第二气体源通过所述第三通道混合为第三气体后输出；其特征在于，所述第一通道上设置有第一流量控制装置且所述第二通道上设置有第二流量控制装置使得在第三通道混合后的混生气体具有设定的比例，所述第一流量控制装置包括串联的第一压力调节器和第一限流装置，第二流量控制装置包括串联的第二压力调节器和第二限流装置。
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