[实用新型]多晶硅离心提纯炉有效
申请号: | 201120521030.9 | 申请日: | 2011-12-08 |
公开(公告)号: | CN202529852U | 公开(公告)日: | 2012-11-14 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 王洪举;江苏晶和新能源有限公司 |
主分类号: | C01B33/037 | 分类号: | C01B33/037 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 223800 江苏省宿迁市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型属于多晶硅生产设备技术领域,特别涉及一种多晶硅离心提纯炉。其由炉体、坩埚、真空罩、离心机组、真空机组组成。离心机组上部是炉体,炉体上部设有炉门,炉体内设有保温层,保温层内侧设有石墨加热器或者中频加热装置,内部的装料坩埚设于保温层底部上的承接法兰上,真空罩在炉体外部,安置于离心机组上部,多晶硅离心提纯炉的炉体、坩埚主要固定于离心机组的主轴上。形成一个完整的加热离心一体化的提纯炉系统。本实用新型可实现在真空状态下,可实现对固体硅料的熔炼、离心提纯,定向结晶,从而达到纯度的定向分层,提取到纯度从低到高的多晶硅铸锭的目的,从而可得到多量高质量的多晶硅。 | ||
搜索关键词: | 多晶 离心 提纯 | ||
【主权项】:
一种多晶硅离心提纯炉,由有炉体、坩埚、真空罩、离心机组、真空机组组成;其特征是:离心机组上部是炉体,炉体上部设有炉门,炉体内设有保温层,保温层内侧设有石墨加热器或者中频加热装置,内部的装料坩埚设于保温层底部上的承接法兰上,真空罩在炉体外部,安置于离心机组上部,多晶硅离心提纯炉的炉体、坩埚主要固定于离心机组的主轴上。
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