[实用新型]用于制造薄膜太阳能电池电极的装置

摘要

本实用新型涉及一种用于制造薄膜太阳能电池电极的装置，属于太阳能薄膜电池技术领域。解决如何实现在低温沉积条件下制备具有高电导率的透明导电膜层。装置包括安装在真空腔室内的溅射靶和基片架，且溅射靶和基片架之间设有阳极装置，该阳极装置悬浮在真空腔室内或与真空腔室连接，且阳极装置的电位大于或等于基片架的电位。本实用新型克服了传统工艺和装置存在的膜层错位、有空穴等缺陷，使得膜层的电阻率降低到10-4Ω.cm数量级，实现低温沉积高电导率的透明导电膜层。

主权项

一种用于制造薄膜太阳能电池电极的装置，包括安装在真空腔室内的溅射靶和基片架，其特征在于所述溅射靶和基片架之间设有阳极装置，该阳极装置悬浮在真空腔室内或与真空腔室连接，且阳极装置的电位大于或等于基片架的电位。