[实用新型]硅光电二极管有效

专利信息
申请号: 201120446880.7 申请日: 2011-11-12
公开(公告)号: CN202394984U 公开(公告)日: 2012-08-22
发明(设计)人: 崔峰敏 申请(专利权)人: 傲迪特半导体(南京)有限公司
主分类号: H01L31/0216 分类号: H01L31/0216;H01L31/0224;H01L31/105
代理公司: 江苏致邦律师事务所 32230 代理人: 樊文红
地址: 210034 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及硅光电二极管,目的是提供一种暗电流小、光电转换效率高的硅光电二极管。实现本实用新型目的的技术方案是:在高电阻率的N型硅片的正面周边设有环状N型Si层,在环状N型Si层内设有P型Si层,在环状N型Si层和P型Si层之间隔着高阻硅层,在P型Si层上设有氮化硅膜,P型Si层上有小部分氮化硅膜被光刻、腐蚀掉,形成P型Si层电极区,在电极区表面贴附有金属作为阳极,在高阻硅层及其与P型Si层和N型Si层接触区表面贴附有金属。
搜索关键词: 光电二极管
【主权项】:
硅光电二极管,其特征是,在高电阻率的N型硅片的正面周边设有环状N型Si层,在环状N型Si层内设有 P型Si层,在环状N型Si层和 P型Si层之间隔着高阻硅层,在P型Si层上设有氮化硅膜,P型Si层上有小部分氮化硅膜被光刻、腐蚀掉,形成P型Si层电极区,在电极区表面贴附有金属作为阳极,在高阻硅层及其与P型Si层和N型Si层接触区表面贴附有金属。
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