[实用新型]一种双向磁场增强装置

摘要

本实用新型涉及提高PECVD设备的磁场，具体地说是一种可以提高原料利用率和提高膜层沉积速度，进而提高产能的双向磁场增强装置，包括真空室及石英管，其中石英管安装在真空室内，在石英管的周围分别设置有第一磁钢、第二磁钢、第三磁钢及第四磁钢；所述第一磁钢与第三磁钢相对设置、相互平行，分别位于石英管的上方和下方；第二磁钢与第四磁钢相对设置、相互平行，分别位于石英管的左侧和右侧；所述第二磁钢、第三磁钢及第四磁钢的极性相同，第一磁钢与第二磁钢、第三磁钢及第四磁钢的极性相反。本实用新型在石英管四周设置了四个磁钢，两两相对，提高了原料利用率和膜层沉积速度，进而提高了设备产能。

主权项

一种双向磁场增强装置，其特征在于：包括真空室(1)及石英管(6)，其中石英管(6)安装在真空室(1)内，在石英管(6)的周围分别设置有第一磁钢(2)、第二磁钢(3)、第三磁钢(4)及第四磁钢(5)。