[实用新型]改良的真空镀膜机产品基片夹具有效
| 申请号： | 201120436138.8 | 申请日： | 2011-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN202390524U | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 程攀高 | 申请（专利权）人： | 宸阳光电科技（厦门）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 厦门市新华专利商标代理有限公司 35203 | 代理人： | 朱凌 |
| 地址： | 361000 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种改良的真空镀膜机产品基片夹具，该夹具包括有夹紧于一框体之边框上的第一夹紧部、第二夹紧部和设置于第一夹紧部和第二夹紧部之间的连接板，其中，该第一夹紧部为倒U形，该第二夹紧部为W形，该第二夹紧部两侧分别设置有一稳固基片的凹部。藉此，通过将镀膜用基片夹具设置为W形，使“W”形夹具两侧凹部装载基片后，基片仍可保持在自然翘曲状态，无因弹压引起的弹力共振晃动，起到稳固基片作用，不会发生基片溅镀过程的掉片，破片现象。该夹具结构简单，可利用于立式真空镀机构产品载体上部和侧部对基片固定，且不受基片大小、厚度等因素影响限制。并镀膜完整，效率高，提高了产品合格率，增加了企业竞争力。 | ||
| 搜索关键词： | 改良 真空镀膜 产品 夹具 | ||
【主权项】：
一种改良的真空镀膜机产品基片夹具，其特征在于：该夹具包括有夹紧于一框体之边框上的第一夹紧部、第二夹紧部和设置于第一夹紧部和第二夹紧部之间的连接板，其中，该第一夹紧部为倒U形，该第二夹紧部为W形，该第二夹紧部两侧分别设置有一稳固基片的凹部。
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