[实用新型]单晶炉热场有效
申请号: | 201120426085.1 | 申请日: | 2011-11-01 |
公开(公告)号: | CN202323107U | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 张庆 | 申请(专利权)人: | 雅安恒圣高纯石墨科技有限责任公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14 |
代理公司: | 成都金英专利代理事务所(普通合伙) 51218 | 代理人: | 袁英 |
地址: | 625008 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种单晶炉热场,它包括内导流筒(4)、外导流筒(5)、三瓣坩埚(7)、坩埚托盘(8)、托杆轴基座(10)、加热器(11)、石墨电极(14)和托杆轴(16),石墨电极(14)位于炉体的底部,加热器(11)通过加热器螺栓(13)与石墨电极(14)连接,托杆轴(16)穿过炉底板(15)进入炉体,与托杆轴基座(10)连接,托杆轴基座(10)通过托杆销(9)与坩埚托盘(8)连接,三瓣坩埚(7)安装在坩埚托盘(8)上,三瓣坩埚(7)和坩埚托盘(8)之间为间隙配合,外导流筒(5)安装在三瓣坩埚(7)上方,内导流筒(4)位于外导流筒(5)内部。本实用新型的优点在于结构合理,热效率高,寿命长。 | ||
搜索关键词: | 单晶炉热场 | ||
【主权项】:
单晶炉热场,其特征在于,它包括内导流筒(4)、外导流筒(5)、三瓣坩埚(7)、坩埚托盘(8)、托杆轴基座(10)、加热器(11)、石墨电极(14)和托杆轴(16),上保温盖(1)、下保温盖(2)、上保温筒(3)、中保温筒(6)、下保温筒(12)和炉底板(15)顺序组合成炉体,石墨电极(14)位于炉体的底部,加热器(11)通过加热器螺栓(13)与石墨电极(14)连接,托杆轴(16)穿过炉底板(15)进入炉体,与托杆轴基座(10)连接,托杆轴基座(10)通过托杆销(9)与坩埚托盘(8)连接,三瓣坩埚(7)安装在坩埚托盘(8)上,三瓣坩埚(7)和坩埚托盘(8)之间为间隙配合,外导流筒(5)安装在三瓣坩埚(7)上方,内导流筒(4)位于外导流筒(5)内部。
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