[实用新型]一种采用中心对称开合的晶硅铸锭炉热场热门控制装置有效
| 申请号: | 201120422887.5 | 申请日: | 2011-10-31 |
| 公开(公告)号: | CN202323097U | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
| 发明(设计)人: | 刘芝;徐芳华;赵波;卢雪梅 | 申请(专利权)人: | 杭州精功机电研究所有限公司 |
| 主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司: | 浙江翔隆专利事务所 33206 | 代理人: | 张建青 |
| 地址: | 310018 浙江省杭州市江干*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 本实用新型提供了一种采用中心对称开合的晶硅铸锭炉热场热门控制装置。现有的热场热门控制方法中,有的初期辐射量过大会极大影响成核质量,并且增加额外的能耗;有的后期辐射量不足导致晶体生长连续性不好并且生长速度缓慢;有的散热通道的不均匀对称性也会对晶体成核及生长造成不利的影响。本实用新型包括绝热笼、置于绝热笼内的加热器和热交换台,绝热笼的下方设有内部通冷却水的冷板,其特征在于所述的冷板与绝热笼底部之间设有其中心形成的开口能以中心对称的方式逐渐向四周打开或向中心闭合的隔热板组件。本实用新型结合中心对称开合法,既能保持低能耗的晶体生长,同时又能充分利用散热面积,还能够有效控制晶体初期成核和稳步定向生长。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 采用 中心对称 铸锭 炉热场 热门 控制 装置 | ||
【主权项】:
一种采用中心对称开合的晶硅铸锭炉热场热门控制装置,包括绝热笼、置于绝热笼内的加热器和热交换台,绝热笼的下方设有内部通冷却水的冷板,其特征在于:所述的冷板与绝热笼底部之间设有其中心形成的开口能以中心对称的方式逐渐向四周打开或向中心闭合的隔热板组件。
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