[实用新型]鼓泡塔釜出口的四氯化硅冲洗管线结构

摘要

本实用新型属于多晶硅生产线的设备，特别是鼓泡塔釜出口的四氯化硅冲洗管线结构，包括与鼓泡塔釜底部相连的釜液排放管线，用于釜液的排放；与釜液排放管线侧面相连的四氯化硅冲洗管线，用于对鼓泡塔釜锥部进行反冲洗；釜液排放管线上设置有调节阀组，调节阀与鼓泡塔釜液位联锁，用于对鼓泡塔釜液位进行自动控制；在四氯化硅冲洗管线和釜液排放管线之间设置有釜液排放管冲洗管线，用于对釜液排放管线及阀组部分的冲洗；本实用新型通过新增管线和阀门，优化了三氯氢硅合成工艺路线，减少了管线堵塞频率，使得管线疏通更为快速方便；在管线堵塞时，能通过新增冲洗管线快速疏通管线，从而缩短了管线清堵时间，能有效延长系统运行周期，降低生产成本。

主权项

鼓泡塔釜出口的四氯化硅冲洗管线结构，包括与鼓泡塔釜（1）底部相连的用于釜液排放的釜液排放管线（5），釜液排放管线（5）的侧面连接有用于对鼓泡塔釜（1）锥部进行反冲洗的四氯化硅冲洗管线（2），四氯化硅冲洗管线（2）至少包括两个调节阀，釜液排放管线（5）上位于四氯化硅冲洗管线（2）下端设置有用于对鼓泡塔釜（1）液位进行自动控制的调节阀组（4），调节阀组（4）与鼓泡塔釜（1）液位联锁，其特征在于：在四氯化硅冲洗管线（2）和釜液排放管线（5）之间还设置有用于对釜液排放管线（5）及调节阀组（4）部分进行冲洗的釜液排放管冲洗管线（3），釜液排放管冲洗管线（3）的一端连接于四氯化硅冲洗管线（2）的两个调节阀之间，釜液排放管冲洗管线（3）的另一端连接于调节阀组（4）的最上端的调节阀下面。