[实用新型]一种用于制作晶体硅太阳能电池PN结的石英炉管

摘要

本实用新型公开了一种用于制作晶体硅太阳能电池PN结的石英炉管，其为双层结构，包括外层石英管和内层气流均衡管，外层石英管内径向设置有口部石英支撑圆盘和尾部石英支撑圆盘，内层气流均衡管置放于两个石英支撑圆盘上，外层石英管和内层气流均衡管之间的环形空隙中沿轴向均匀设置有多块石英隔流板，多块石英隔流板分环形空隙为多个气流腔，内层气流均衡管上均匀分布有多个气流孔，尾部石英支撑圆盘上连接有与内层气流均衡管连通的废气排放管及与气流腔连通的工艺气体进气管，使用时工艺气体通过气流腔再经气流孔均匀沉积到硅片表面上，这种结构的石英炉管实现了对气流的控制并加以稳定，可提高硅片和整管晶硅电池扩散方阻的均匀性到±2%以内。

主权项

一种用于制作晶体硅太阳能电池PN结的石英炉管，其特征在于其为双层结构，包括同轴设置的外层石英管和内层气流均衡管，所述的外层石英管内径向设置有口部石英支撑圆盘和尾部石英支撑圆盘，所述的内层气流均衡管置放于所述的口部石英支撑圆盘和所述的尾部石英支撑圆盘上，所述的外层石英管和所述的内层气流均衡管之间的环形空隙中沿轴向均匀设置有多块用于隔断所述的环形空隙的石英隔流板，多块所述的石英隔流板分所述的环形空隙为多个气流腔，所述的内层气流均衡管上均匀分布有多个连通所述的气流腔和所述的内层气流均衡管的内腔的气流孔，所述的尾部石英支撑圆盘上轴向连接有与所述的内层气流均衡管的内腔连通的废气排放管及多个分别与所述的气流腔一一对应连通的工艺气体进气管。