[实用新型]声表面波瓦斯传感器

摘要

本实用新型公开了一种声表面波瓦斯传感器，包括压电基底，压电基底的上表面上沉积有用于将电信号转换为声表面波信号的两个输入叉指换能器、用于接收由输入叉指换能器产生的声表面波经压电基底表面传递来的声信号并转换为电信号的两个输出叉指换能器和用于吸附瓦斯气体的两张瓦斯吸附薄膜，其中第一个输入叉指换能器、第一张瓦斯吸附薄膜和第一个输出叉指换能器依次设置并构成第一路声表面波延迟线，第二个输入叉指换能器、第二张瓦斯吸附薄膜和第二个输出叉指换能器依次设置并构成第二路声表面波延迟线。本实用新型结构紧凑，体积小，设计新颖合理，使用操作便捷，测量精度高，传感灵敏度高，工作稳定性高，使用效果好，便于推广使用。

主权项

一种声表面波瓦斯传感器，其特征在于：包括压电基底，所述压电基底的上表面上经过表面微加工工艺加工有用于将电信号转换为声表面波信号的两个输入叉指换能器、用于接收由输入叉指换能器产生的声表面波经压电基底表面传递来的声信号并转换为电信号的两个输出叉指换能器和用于吸附瓦斯气体的两张瓦斯吸附薄膜，其中第一个输入叉指换能器(2‑1)、第一张瓦斯吸附薄膜(3‑1)和第一个输出叉指换能器(4‑1)依次设置并构成第一路声表面波延迟线，第二个输入叉指换能器(2‑2)、第二张瓦斯吸附薄膜(3‑2)和第二个输出叉指换能(4‑2)器依次设置并构成第二路声表面波延迟线。