[实用新型]一种晶体硅太阳电池动态扩散装置

摘要

本实用新型公开了一种晶体硅太阳能电池动态扩散装置，包括炉管和石英舟，在炉管内设有对石英舟进行升降的升降装置，所述石英舟放置在升降装置上。本实用新型提供的晶体硅太阳能电池动态扩散装置，基于现有机台设计，结构简单，实现成本低；采用本装置利用动态扩散方式制备发射极可有效提高片内方阻均匀性，提高短波响应，实验分析单片方阻均匀性能够控制在±3ohm/sq范围内；量产化能力能够达到500片/批，并满足低的表面浓度要求，优于现有的国内外同类产品。

主权项

一种晶体硅太阳能电池动态扩散装置，包括炉管和石英舟(2)，其特征在于：所述炉管内设有对石英舟(2)进行升降的升降装置(1)，所述石英舟(2)放置在升降装置(1)上。