[实用新型]一种高温扩散炉中的石英管有效
| 申请号: | 201120349089.4 | 申请日: | 2011-09-09 |
| 公开(公告)号: | CN202246082U | 公开(公告)日: | 2012-05-30 |
| 发明(设计)人: | 李德云;童鹏飞;徐新毅 | 申请(专利权)人: | 浙江嘉毅能源科技有限公司 |
| 主分类号: | C01B33/021 | 分类号: | C01B33/021 |
| 代理公司: | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人: | 舒良 |
| 地址: | 324300 浙江省开化县*** | 国省代码: | 浙江;33 |
| 权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
| 摘要: | 本实用新型涉及一种高温扩散炉中的石英管,该石英管内设有尾气管,尾气管通过石英垫架空设在石英管内。采用本实用新型,即使高温扩散炉中的偏磷酸冷却后凝固,也不会将尾气管粘附在石英管上,因此,可以方便地将尾气管取出后进行石英管的旋转清洗,加快了清洗时间,提高的工作效率。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 高温 扩散 中的 石英管 | ||
【主权项】:
一种高温扩散炉中的石英管,在石英管内设有尾气管,其特征在于尾气管通过石英垫架空设在石英管内。
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