[实用新型]薄膜类有机物质形貌分析的样品固定装置有效
| 申请号： | 201120301796.6 | 申请日： | 2011-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN202204793U | 公开（公告）日： | 2012-04-25 |
| 发明（设计）人： | 宋津京;郝俊胜 | 申请（专利权）人： | 三星高新电机（天津）有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 天津市三利专利商标代理有限公司 12107 | 代理人： | 闫俊芬 |
| 地址： | 300385 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种能够在观察的过程中避免电荷放电、减少电子束对样品的损伤，而且还可增加二次电子产率，获得质量良好形貌效果的薄膜类有机物质形貌分析的样品固定装置，包括放置待分析薄膜样品的样品台，其特征在于：所述样品台上还设置有压板，该压板由导电材料制成。本实用新型结构的薄膜类有机物质形貌分析的样品固定装置，能够有效避免电荷放电、减少电子束对样品的损伤，而且还可增加二次电子产率，获得质量良好的图片，操作简易方便。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 有机 物质 形貌 分析 样品 固定 装置 | ||
【主权项】：
一种薄膜类有机物质形貌分析的样品固定装置，包括放置待分析薄膜样品的样品台，其特征在于：所述样品台上还设置有压板，该压板由导电材料制成。
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