[实用新型]一种探针卡和使用它的多芯片测试系统

摘要

本实用新型涉及微电子技术设备领域，特别是涉及一种探针卡和使用它的多芯片测试系统，探针卡包括印刷电路板、以及设置在印刷电路板上的摆针区、输入输出接口区和弹簧针接口区，可用于匹配多芯片测试系统，实现测试系统和晶圆上的多个芯片之间的物理连接和电气连接，从而实现对晶圆的测试；使用该探针卡的多芯片测试系统，包括控制台、探针台、探针卡、自动测试设备、接口电路板、万用表和显示设备，具有既方便晶圆的测试，又能提高测试效率、降低测试成本的特点。

主权项

一种探针卡，其特征在于：包括印刷电路板、以及设置在印刷电路板上的摆针区、输入输出接口区和弹簧针接口区，所述印刷电路板为多层印刷电路板；所述摆针区设置在印刷电路板的底层，所述摆针区的尺寸为至少放置两个芯片的探针；所述输入输出接口区和弹簧针接口区均设置在所述印刷电路板的顶层；所述弹簧针接口区设置有弹簧针接口，所述输入输出接口区设置有输入输出信号的针脚，所述摆针区设置有接触待测芯片的探针；所述弹簧针接口的输出端与所述输入输出接口的输入接口电连接，所述输入输出接口的输出接口与所述探针的输入端电连接。