[实用新型]一种多晶硅氢化炉用石墨底座有效
申请号: | 201120292742.8 | 申请日: | 2011-08-05 |
公开(公告)号: | CN202144456U | 公开(公告)日: | 2012-02-15 |
发明(设计)人: | 孙南岳;王钊 | 申请(专利权)人: | 孙南岳;王钊 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 132200 吉林*** | 国省代码: | 吉林;22 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本实用新型公开了一种多晶硅氢化炉用石墨底座,它是用来将发热体与外部供电设备连接起来的引电体。该石墨底座包括与发热体接触的上边缘与下边缘,将上边缘设为圆角,将下边缘设为圆角或者直角。这种石墨底座可极大地减弱在运行过程中发热体与石墨底座之间产生尖端放电,从而可以明显延长发热体的使用寿命,降低了氢化炉的使用成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 氢化 石墨 底座 | ||
【主权项】:
一种多晶硅氢化炉用石墨底座,包括与发热体接触的上边缘(1)与下边缘(2),其特征在于:将上边缘(1)设为圆角,将下边缘(2)设为圆角或者直角。
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