[实用新型]防高温变形的固定架和炉管

摘要

本实用新型公开了一种防高温变形的固定架，所述固定架位于炉管腔室内，用于支撑伸入炉管腔室内的喷射管，所述炉管腔室由炉管体和炉管座上下合围组成，所述固定架和炉管座的侧壁固定连接，所述固定架独立支撑单个的所述喷射管。还公开了一种采用如上所述固定架的防高温变形的炉管。本实用新型通过将固定架独立设置，使其单独支撑单个喷射管，一方面，由于固定架和喷射管一一对应装配，因此，每个固定架都能够和各自对应的喷射管紧密贴合；另一方面，由于固定架的尺寸明显缩小，因此，可以有效减少高温对固定架的变形影响，进一步确保固定架和喷射管之间紧密贴合，不存在空隙，进而，避免喷射管出现倾斜和晃动，确保化学气相沉积工艺的稳定进行。

主权项

一种防高温变形的固定架，位于炉管腔室内，用于支撑伸入炉管腔室内的喷射管，所述炉管腔室由炉管体和炉管座上下合围组成，其特征在于，所述固定架与所述炉管座的侧壁固定连接，所述固定架独立支撑单个所述喷射管。