[实用新型]一种能消除应力的发光二极管结构有效

专利信息
申请号: 201120267704.7 申请日: 2011-07-27
公开(公告)号: CN202167535U 公开(公告)日: 2012-03-14
发明(设计)人: 吴东海;李志翔;蔡炯棋 申请(专利权)人: 南通同方半导体有限公司
主分类号: H01L33/00 分类号: H01L33/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 100083 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种能消除应力的发光二极管结构,涉及光电技术领域。本实用新型包括蓝宝石衬底和置于蓝宝石衬底上的外延层。其结构特点是,所述蓝宝石衬底内部形成有纵横交错的切割划痕。同现有技术相比,本实用新型能减小GaN基LED材料外延生长过程中产生的应力,提高GaN基LED外延材料的均匀性和GaN基LED芯片的产出良率,有利于外延衬底尺寸的进一步扩大。
搜索关键词: 一种 消除 应力 发光二极管 结构
【主权项】:
一种能消除应力的发光二极管结构,它包括蓝宝石衬底(21)和置于蓝宝石衬底(21)上的外延层(22),其特征在于,所述蓝宝石衬底(21)内部形成有纵横交错的切割划痕(23)。
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