[实用新型]一种硅片盒清洁装置有效
| 申请号： | 201120263162.6 | 申请日： | 2011-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN202185420U | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 沈彪;李向清;胡德良 | 申请（专利权）人： | 江阴市爱多光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;H01L21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214423 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片盒清洁装置，该清洁装置包括：清洗槽、进液管路、排液管路、液体供给装置以及排液泵，液体供给装置与进液管路连接，排液泵与排液管路连接，清洗槽包括一腔体，进液管路与腔体连通形成进液通道，排液管路与腔体连通形成排液通道。该硅片盒清洁装置在进行硅片盒清洁工作时，可将硅片盒置于清洗槽内，并利用液体供给装置向硅片盒的底部喷射液体，以减少微小颗粒与硅片盒底部的粘附力，接着利用排液泵将漂浮在腔体内的微小颗粒从排液通道排走，从而减小了颗粒对硅片损坏的可能性，提高了硅片的成品率，并保证太阳能硅片加工装置的正常运作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 清洁 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片盒清洁装置，其特征在于，所述清洁装置包括：清洗槽、进液管路、排液管路、液体供给装置以及排液泵，所述液体供给装置与所述进液管路连接，所述排液泵与所述排液管路连接，所述清洗槽包括一腔体，所述进液管路与所述腔体连通形成进液通道，所述排液管路与所述腔体连通形成排液通道。
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