[实用新型]一种太阳能硅片研磨盘的测量装置有效

专利信息
申请号: 201120262081.4 申请日: 2011-07-22
公开(公告)号: CN202188822U 公开(公告)日: 2012-04-11
发明(设计)人: 沈彪;李向清;胡德良 申请(专利权)人: 江阴市爱多光伏科技有限公司
主分类号: G01B5/28 分类号: G01B5/28
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 214423 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种太阳能硅片研磨盘的测量装置,该装置包括底座以及固定连接在底座上的把持部,在底座上依次间隔地顺序安装有三个分别用于测量研磨面外边缘、内部和内边缘的平整度测量仪,所述的底座为方形平台或为圆形平台。由于该太阳能硅片研磨盘的测量装置在同一尺底座上安装有三个平整度测量仪,则进行一次测量就可以反应出该位置的平整度,而无须像现有技术中,需要分别测量三次,才能获取下研磨盘面的平面精度。因此,本实用新型极大地提高了研磨盘面平整度检测速度,有效地提高了太阳能硅片加工的速度,同时还避免分次测量所造成的测量误差,甚至由于操作失误造成的测量错误。
搜索关键词: 一种 太阳能 硅片 研磨 测量 装置
【主权项】:
一种太阳能硅片研磨盘的测量装置,其特征在于,所述装置包括底座以及固定连接在底座上的把持部,在所述底座上依次间隔地顺序安装有三个分别用于测量研磨面外边缘、内部和内边缘的平整度测量仪,所述的底座为方形平台或为圆形平台。
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