[实用新型]往复式连续镀膜装置有效

专利信息
申请号: 201120246078.3 申请日: 2011-07-13
公开(公告)号: CN202181348U 公开(公告)日: 2012-04-04
发明(设计)人: 戴明光 申请(专利权)人: 戴明光;苏州爱迪尔镀膜科技有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;C23C14/54
代理公司: 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 代理人: 范晴
地址: 215101 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种往复式连续镀膜装置,其利用往复式的传送装置将基材输送到不同的镀膜区进行镀膜,从而对膜层分布进行控制,再有控制传送装置的传送速度从而实现对膜厚的控制,除此之外,在每个镀膜区所设置的检测装置可以检测基材的位置并将检测信号发送至控制装置,控制装置根据检测信号发出控制指令控制传送装置的运行方向或者运行速度,从而将基材送入不同的镀膜区域,实现对镀膜过程的智能控制。
搜索关键词: 往复 连续 镀膜 装置
【主权项】:
一种往复式连续镀膜装置,它包括进料区、与进料区并行相接的多个镀膜区以及一连接于镀膜区的出料区,其特征在于,它还包括往复式的传送装置、检测装置以及控制装置,所述的进料区、镀膜区与出料区中均设有传送装置,所述的每个镀膜区的两端均设有检测装置,所述的检测装置与所述的控制装置相连,所述的控制装置连接传送装置并控制所述的传送装置的传送方向。
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