[实用新型]太阳能电池硅片扩散用尾气排放装置

摘要

本实用新型公开了一种太阳能电池硅片扩散用尾气排放装置，其包括三通管和排风管，三通管的第一支管与尾管相连，三通管的第二支管与排风管相连。本实用新型提供的太阳能电池硅片扩散用尾气排放装置，在每次扩散工艺后通过向该装置三通管的主管中通入流速较高的反向气流，尾气随气流排出，从而起到疏通尾管，保证尾管通畅的作用，另外也防止了尾管管壁腐蚀。

主权项

一种太阳能电池硅片扩散用尾气排放装置，其特征在于：其包括三通管和排风管，所述三通管的第一支管与尾管相连，所述三通管的第二支管与所述排风管相连。