[实用新型]一种氯硅烷液体过滤装置有效
申请号: | 201120193732.9 | 申请日: | 2011-06-10 |
公开(公告)号: | CN202144455U | 公开(公告)日: | 2012-02-15 |
发明(设计)人: | 孙明炳;沈伟 | 申请(专利权)人: | 四川瑞能硅材料有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人: | 徐宏;吴彦峰 |
地址: | 620041 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种氯硅烷液体过滤装置,目的在于解决现有技术中,通过尾气回收装置得到的氯硅烷液体中含有大量杂质,影响多晶硅正常生产的问题,该装置包括过滤罐、设置于过滤罐顶部的物料出口和设置于过滤罐下部的物料进口,所述过滤罐内设置有过滤装置。本实用新型结构简单,安装使用方便,适应性强,过滤效果好,能有效去除氯硅烷液体中的杂质,同时,能够根据实际情况的不同,选择相应的过滤装置,从而满足不同过滤精度的要求。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅烷 液体 过滤 装置 | ||
【主权项】:
一种氯硅烷液体过滤装置,包括过滤罐(100)、设置于过滤罐(100)顶部的物料出口(301)和设置于过滤罐(100)下部的物料进口(401),所述过滤罐(100)内设置有过滤装置(200)。
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