[实用新型]石英坩埚加热涂层包装一体机有效
申请号: | 201120153553.2 | 申请日: | 2011-09-16 |
公开(公告)号: | CN202144478U | 公开(公告)日: | 2012-02-15 |
发明(设计)人: | 邵天聪;金军 | 申请(专利权)人: | 江苏华尔光电材料股份有限公司 |
主分类号: | C03C17/00 | 分类号: | C03C17/00;B05B3/08;B05B15/12;B05B15/08;B65B63/00 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 徐激波 |
地址: | 225600 江苏省扬州市高邮市经*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种石英坩埚加热涂层包装一体机,包括石英坩埚的传输系统、以及按传输方向依次设有的加热系统、喷涂系统和包装系统;所述加热系统包括一个可密闭的加热间,加热间内设置有红外线加热管和用于恒定温度的温度感应器,所述喷涂系统包括一个可密闭的涂层间,涂层间内设置有可自动升降的旋转接头和喷嘴,所述包装系统由置于石英坩埚上方和侧方的负压吸附机械手组成,所述传输系统包括作为动力源的伺服电机、链轮、链条和传送带,所述链轮与链条连接,传送带安装在链条上。本实用新型设备可以有效的对石英坩埚进行加热,涂层并包装入库,大大节省了人工,提高工作效率,也有效的解决了坩埚涂层粉末粘结不牢的问题。 | ||
搜索关键词: | 石英 坩埚 加热 涂层 包装 一体机 | ||
【主权项】:
一种石英坩埚加热涂层包装一体机,其特征在于:包括石英坩埚的传输系统、以及按传输方向依次设有的加热系统、喷涂系统和包装系统;所述加热系统包括一个可密闭的加热间(1),加热间(1)内设置有红外线加热管(3)和用于恒定温度的温度感应器(4),所述喷涂系统包括一个可密闭的涂层间(2),涂层间(2)内设置有可自动升降的旋转接头(5)和喷嘴(6),所述包装系统由置于石英坩埚上方和侧方的负压吸附机械手(7)组成,所述传输系统包括作为动力源的伺服电机(8)、链轮(9)、链条(10)和传送带(11),所述链轮(9)与链条(10)连接,传送带(11)安装在链条(10)上。
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