[实用新型]一种多重离子化表面镀膜装置无效
| 申请号： | 201120144589.4 | 申请日： | 2011-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN202099375U | 公开（公告）日： | 2012-01-04 |
| 发明（设计）人： | 倪杨 | 申请（专利权）人： | 宁波表面工程研究中心 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315177 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种多重离子化表面镀膜装置，其具有真空容器，内置于真空容器中的用于容纳蒸镀材料的坩埚，用于产生照射并加热蒸镀材料的激光束的第一激光辐照器，用于产生离子化蒸镀材料蒸汽的激光束的第二激光辐照器，在所述第二激光辐照器产生的激光束的光路上设置至少一个使得激光束折返的反射镜；由于采用了激光辐照器作为加热源，从而避免了现有的以加热丝作为加热源产生的加热源材料蒸发进入蒸镀材料蒸汽中成为杂质的问题；而加设了一个用于离子化蒸镀材料蒸汽的第二激光辐照器，强化了离子化的效率；而由于光路上设置了反射镜使得激光束折返而对蒸汽产生多重离子化效应，进一步增强离子化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多重 离子化 表面 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种多重离子化表面镀膜装置，其具有真空容器，内置于真空容器中的用于容纳蒸镀材料的坩埚，用于产生照射并加热蒸镀材料的激光束的第一激光辐照器，用于产生离子化蒸镀材料蒸汽的激光束的第二激光辐照器，在所述第二激光辐照器产生的激光束的光路上设置至少一个使得激光束折返的反射镜。
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