[实用新型]一种真空度在线监测装置及真空度在线监测系统有效

专利信息
申请号: 201120140279.5 申请日: 2011-05-05
公开(公告)号: CN202110032U 公开(公告)日: 2012-01-11
发明(设计)人: 崔静;于龙 申请(专利权)人: 山东鲁亿通智能电气股份有限公司
主分类号: G01L21/00 分类号: G01L21/00;G01R19/00
代理公司: 上海东信专利商标事务所 31228 代理人: 杨丹莉
地址: 265200 山东*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 实用新型公开了一种真空度在线监测装置,其包括:一探头传感器,用于采集感应电流;一取样电阻,与探头传感器相连接,将探头传感器上的感应电流信号转换成电压信号;一放大电路,与取样电阻相连接,将取样电阻的电压信号放大;一滤波电路,与放大电路相连接,对放大后的电压信号进行滤波;一A/D转换器,与滤波电路相连接,将电压信号进行交、直流分离;一上位机,与A/D转换器相连接,根据A/D转换器的直流电位信号对真空度进行标定。此外,本实用新型还公开了一种真空度在线监测系统,其包括若干个真空度在线监测装置。
搜索关键词: 一种 真空 在线 监测 装置 系统
【主权项】:
一种真空度在线监测装置,其特征在于包括:一探头传感器,用于采集感应电流;一取样电阻,与探头传感器相连接,将探头传感器上的感应电流信号转换成电压信号;一放大电路,与取样电阻相连接,将取样电阻的电压信号放大;一滤波电路,与放大电路相连接,对放大后的电压信号进行滤波;一A/D转换器,与滤波电路相连接,将电压信号进行交、直流分离;一上位机,与A/D转换器相连接,根据A/D转换器的直流电位信号对真空度进行标定。
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